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詳細介紹
JSM-IT200掃描電子顯微鏡
■ 主窗口 ーZ e r o m a g 觀察ー
使用主窗口顯示的樣品架示意圖和光學C C D 圖像 *1 ，能尋找視野和定位 分析位置。
■ 顯示譜圖和顯示元素 顯示譜圖和顯示元素 ーLive Analysis 分析 *2 ー
通過顯示譜圖和顯示元素，能確認正在觀察中的視野的譜圖及主要元素。
■ 數據管理圖標 數據管理圖標 ーSMILE VIEW
T M
L a b 數據集中管理ー按下數據管理圖標并顯示數據管理窗口后，從 S E M 圖像到分析，對全部數據能創建批量報告、
查看數據并重新分析數據。
J S M - I T 2 0 0 在完成樣品交換的同時，開始觀察需要的視野。
按照導航流程操作，也可以安全、方便、可靠地交換樣品。
■ 樣品交換導航
樣品交換導航是從打開樣品室到開始觀察過程中進行導航的功能。
■ Zeromag
只需擴大光學圖像，就可以過渡到 S E M 圖像
Z e r o m a g 功能將與樣品臺位置關聯的樣品架示意圖、C C D 圖像 * （光學圖像）和S E M 圖像實現了聯動。可以直觀地尋找分析區域，只需放大光學圖像就可以過渡到S E M 圖像，因而能防止弄錯觀察目標和樣品。
Zeromag 的特長
?能象用光鏡一樣直觀地移動視野
?可以預約多個分析區域的測試
?可以輕松回溯到已測試完的區域
Live Analysis
S E M 觀察過程中始終顯示元素分析結果
利用Live A n a ly s i s 功能，可以不必再分別考慮S E M 觀察和E D S 分析。在觀察窗口上可以隨時顯示分析區域內的特征X射線譜圖和自動定性的主要構成元素名稱，還可以發現感興趣的元素和一些意想不到的元素。
Live Analysis 的特長
?始終顯示特征X射線譜圖
?通過顯示樣品的主要構成元素幫助發現意想不到的元素。
?對感興趣元素的標注“Alert"
利用SEM觀察窗口上配置的全域/區域面分布圖圖標能獲取整個觀察區域或需要區域的元素面分布圖。
可利用數據管理軟件 SMILE VIEWTM Lab 對采集的數據（如用譜圖、元素面分布圖、線分析對元素的再定位等）進行各種分析。
● 實時 凈計數面分布圖／定量面分布圖
對每個像素點的譜峰進行分離，顯示消除了臨近峰影響的元素面分布圖。對凈計數面分布圖進一步校正計算，還有用定量值顯示的定量面分布圖。
● 強度面分布圖和凈計數面分布圖
Pb-Mα (2.342 keV)的譜峰 和Bi-Mα (2.419 keV) 的譜峰很接近，在強度面分布圖中很難把Bi和Pb的峰*分開。通過顯示凈計數面分布圖，可以確認Bi元素原有的分布。
JSM-IT200掃描電子顯微鏡技術規格
設備型號 | IT200 | |
|---|---|---|
基本性能 | 二次電子像分辨率 | 3 nm (30 kV, 高真空) 8 nm (3 kV, 高真空) 15 nm (1 kV, 高真空) |
背散射電子像分辨率 | 4.0 nm (30 kV, 高真空) | |
加速電壓 | 0.5 to 30kV | |
放大倍數 | 5x to 300,000x | |
EDS 分析 | 電制冷方式Dry SDD extra detector (不用液氮) | |
EDS 分析位置: WD 10 mm, 取出角 35 度 | ||
電子光學系統 | 電子槍 | 工廠預對中燈絲 |
電子槍偏壓 | 無縫式自偏壓 | |
聚光鏡 | 可變焦聚光鏡 | |
物鏡 | 超級圓錐形物鏡 | |
物鏡光闌 | 3段式可動(帶XY軸微調) | |
像散存儲器 | 內置 | |
圖像移動 | ±50μm（WD 10 mm） | |
探測器 | 二次電子探測器 | |
高靈敏度半導體型背散射電子探測器 | ||
自動化功能 | 自動燈絲加熱 | 內置 |
自動槍對中 | 內置 | |
自動聚焦 | 內置 | |
自動消像散 | 內置 | |
自動亮度和對比度調整 | 內置 | |
樣品室 | 最大樣品尺寸 | 150 mm （直徑） |
可支持的選購附件 | EDS, WDS, EBSD, CLD, SHIC, SCU, Raman | |
樣品臺 | X | 0 ~ 80 mm |
Y | 0 ~ 40 mm | |
Z | 5 ~ 48 mm | |
R | 360 度 | |
T | -10 ~ 90 度 | |
最大視野范圍 | 127 mm （直徑） | |
最大樣品高度 | 48 mm | |
馬達驅動 | 2 (X, Y) | |
圖像顯示系統 | PC?OS | Windows®10 |
顯示器 | 24" LCD | |
圖像存儲像素 | 320x240, 640x480, 1280x960, 2560x1920, 5120x3840 pixels | |
圖像保存格式 | Format: BMP, TIFF, JPEG | |
操作系統 | 操作導航器 | 位于顯示屏下端的操作導航器可控制以下功能:用戶管理, 樣品交換, 菜單, 成像, 打印, 參數設定, 維護 |
測量功能 | 平行線間距測量 | 垂直, 水平, 對角 |
2點之間距離測量 | 任意2點間距離 | |
圓的測量 | 直徑, 2個圓中心間距離 | |
角度測量 | 角度 | |
面積測量 | 圓和多角形 | |
計數 | 顆粒統計 | |
真空系統 | 類型 | 全自動抽真空系統 |
油擴散泵 | 420 升/秒 | |
機械泵 | 100 升/秒: 1 (6510/A), 2 (6510LV/LA) | |
外觀 | 基本單元尺寸 | 750 mm (橫) x 1,000 mm (縱) x 1,445 mm (高) |
基本單元重量 | 325 公斤 | |
安裝要求 | 室溫 | 20 ± 5℃ |
濕度: | 低于60% | |
供電 | 單相 AC100 V, 50/60 Hz, 3 kVA | |
E DS 適用于A（Analysis）和LA（Low V a c u u m &Analysis）配置。
主要技術規格
Basic（標配） | Standard | ||
SEM 集成化 | SEM 控制軟件內置 | ● | ● |
觀察/分析數據的集中管理 | |||
在SEM 操作窗口上定位分析位置（從SEM的 GUI上直接分析) | |||
分析位置的圖形顯示 | |||
檢測器 | SDD 類型 | 參照檢測器列表 | |
譜圖分析 | 定性分析（譜峰鑒別、自動定性） | ● | ● |
Visual Peak ID | |||
無標樣定量分析（ZAF 法） | |||
標樣定量分析（ZAF 法） *4 | ● | ||
PHI-RHO-Z(PRZ) 法定量校正法 | |||
線分析 | 線分析（水平、任意方向 | ● | ● |
元素面分布圖 | 元素面分布圖（多色顯示、單色顯示、多色合成 | ● | ● |
最大分辨率 4 , 0 9 6 × 3 , 0 7 2 | |||
實時彈出譜 | |||
譜峰分離圖 （凈計數面分布圖、定量面分布圖） | |||
實時凈計數面分布圖 | |||
實時過濾器 | |||
濃度分布曲線 | |||
電子束追蹤 | |||
連續分析 | 譜圖分析、線分析、元素面分布 | ● | ● |
測試完的數據的統一分析（定性、定量） | |||
蒙太奇功能 | 自動制作蒙太奇（SEM 圖像、元素面分布圖） | ● | ● |
多區域連續元素面分布圖 | |||
顆粒度分析軟件 | 顆粒度分析 （自動 / 手動）＆EDS 分析 | ○ | ○ |
顆粒度分析數據的分類功能 | |||
圖形顯示顆粒度分析數據的統計處理 | |||
大區域的連續顆粒度分析 ＆ EDS 分析 | |||
樣品臺導航系統上設定測試范圍 | |||
數據管理功能和生成報告 | SMILE VIEW TM Lab | ● | ● |
幫助功能 | 幫助導航 | ● | ● |
離線功能 | 與設備主機獨立的PC 上可以解析數據的離線軟件 | ○ | ○ |
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